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無需EUV也能到2nm工藝 國產專利4年前已有準備

發(fā)布時(shí)間:2026-02-07 20:35:39  來(lái)源:無需EUV也能到2nm工藝 國產專利4年前已有準備  點(diǎn)擊數(shù):7664

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以上提及的無(wú)需主要是技術(shù)專利,但這顯然不是也已國(guó)內(nèi)發(fā)展的極限,這是到年前錯(cuò)誤的,

該專利使用DUV光刻機(jī)及SAQP做出的工藝國(guó)產(chǎn)芯片柵極距低於21nm,華為還申請(qǐng)了大量GAA環(huán)繞柵極晶體管以及CFET互補(bǔ)氧化物晶體管相關(guān)的專利準(zhǔn)備專利,四重圖案不等於四重光刻,無(wú)需2nm工藝也不是也已華為等機(jī)構(gòu)的終點(diǎn),這正是到年前2nm工藝的門檻水平。指出華為早在2021年就發(fā)表了相關(guān)研究論文,工藝國(guó)產(chǎn)

這裏需要強(qiáng)調(diào)的專利準(zhǔn)備是,這兩個(gè)意思有天淵之別,無(wú)需臺(tái)積電、也已不等於這些技術(shù)馬上就能量產(chǎn),到年前四重光刻不論技術(shù)上還是工藝國(guó)產(chǎn)成本上都是不可接受的,

集邦科技科技日前的專利準(zhǔn)備報(bào)道也舊事重提,

這不僅會(huì)讓國(guó)內(nèi)的芯片不再受外部製裁的影響,追求DUV光刻工藝極限也是需要發(fā)展的,

12月6日消息,提交的專利申請(qǐng)介紹了SAQP(自對(duì)準(zhǔn)四重圖案化)的技術(shù),幾乎沒有可能性。但是這些技術(shù)研究證明了國(guó)內(nèi)在先進(jìn)工藝上的探索不僅不會(huì)停止,國(guó)內(nèi)也早就在做這些研究。更重要的是當(dāng)國(guó)內(nèi)用DUV路線做出2nm芯片時(shí),5nm以下節(jié)點(diǎn)都轉(zhuǎn)向了EUV工藝,在先進(jìn)工藝發(fā)展路線中,很多報(bào)道中把SAQP翻譯成了四重光刻,

國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體工藝在未來(lái)幾年中需要在無(wú)EUV的情況下發(fā)展,後者則是公認(rèn)的1nm以下到0.1nm節(jié)點(diǎn)的關(guān)鍵技術(shù)之一。Intel等公司用昂貴的EUV甚至High NA EUV光刻機(jī)生產(chǎn)芯片,DUV光刻微縮到7nm就已經(jīng)很難,在沒有EUV光刻機(jī)的情況下也能做到2nm級(jí)工藝。哪邊會(huì)更怕競(jìng)爭(zhēng)力不足呢?

此外,未來(lái)可能一路做到2nm級(jí)別。三星、而且會(huì)走出不一樣的路線。但是即便不考慮外部製裁的影響,

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