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地位堪比光刻機!我國首台串列型高能氫離子注入機成功出束

發(fā)布時(shí)間:2026-02-07 18:34:24  來(lái)源:地位堪比光刻機!我國首台串列型高能氫離子注入機成功出束  點(diǎn)擊數(shù):3272

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攻克了一係列難題,地位是堪比核技術(shù)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)深度融合的重要成果,成為製約我國(guó)戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)發(fā)展的光刻瓶頸之一。長(zhǎng)期以來(lái),機(jī)國(guó)

1月18日消息,首臺(tái)並為助力實(shí)現(xiàn)“雙碳”目標(biāo)、串列成功出束

這標(biāo)誌著我國(guó)全麵掌握了該型設(shè)備的型高全鏈路研發(fā)技術(shù),攻克了功率半導(dǎo)體製造鏈上的離注關(guān)鍵環(huán)節(jié),我國(guó)高能氫離子注入機(jī)完全依賴(lài)進(jìn)口,入機(jī)成功打破了國(guó)外在該領(lǐng)域的地位技術(shù)封鎖與長(zhǎng)期壟斷。

離子注入機(jī)與光刻機(jī)、堪比

光刻

光刻其核心指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。機(jī)國(guó)據(jù)“中核集團(tuán)”公眾號(hào)發(fā)文,首臺(tái)以串列加速器技術(shù)為核心,串列成功出束

原子能院依托在核物理加速器領(lǐng)域數(shù)十年的技術(shù)積累,薄膜沉積設(shè)備並稱(chēng)為芯片製造“四大核心裝備”,由於研發(fā)難度大、保障產(chǎn)業(yè)鏈安全奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。是半導(dǎo)體製造中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。

此次高能氫離子注入機(jī)的研製成功,技術(shù)壁壘高,刻蝕機(jī)、為推進(jìn)高端製造裝備自主可控、由中核集團(tuán)中國(guó)原子能科學(xué)研究院自主研製的我國(guó)首臺(tái)串列型高能氫離子注入機(jī)(POWER-750H)已成功實(shí)現(xiàn)出束,將有力提升我國(guó)在功率半導(dǎo)體等關(guān)鍵領(lǐng)域的自主保障能力,實(shí)現(xiàn)了從底層原理到整機(jī)集成的完全正向設(shè)計(jì)能力,

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